台积电嫌ASML最新EUV太贵，A16不一定用到 ssd新闻存储新闻

2024-05-15

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据台媒《经济日报》报道，台积电主管透露，台积电A16先进制程节点不一定需要ASML最新的先进芯片制造设备高数值孔径极紫外光光刻机（High-NA EUV），原因是太贵了。彭博资讯揭露，这一部机器要价超过新台币百亿元。

台积电业务开发资深副总经理暨副共同营运长张晓强14日在阿姆斯特丹一场技术研讨会上表示：「价格非常高昂。」「我喜欢High-NA EUV的能力，但我不喜欢它的标价。」

张晓强说，台积电所谓A16先进制程节点（预定2026年稍晚量产）不一定需要使用ASML的High NA EUV设备，而且可以继续仰赖台积电已有的较旧款EUV设备，「我认为目前，我们现有的EUV能力应该有办法支持了」。

张晓强表示，使用新的ASML技术，将取决于它在何处最具经济效益，以及「我们能够达成的技术平衡」。他不愿透露台积电何时将从ASML采购High-NA EUV。

张晓强表示，营运晶圆厂的成本，包括营建、工具、电力和原物料「持续上涨」「这是整个产业面临的集体挑战。」

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