三星或采用铪基薄膜铁电制造1000层NAND

2024-05-15
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据韩媒《朝鲜日报》报道,三星电子正在加强其对NAND闪存的研发工作,重点关注被称为「铪基薄膜铁电(hafnia ferroelectrics)」的下一代存储半导体材料。其目标是通过将3D NAND从目前的200至300层提升到令人印象深刻的1000层来显著提高SSD的容量。

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业内消息人士透露,三星电子正将其研发能力集中在基于铪基薄膜铁电的3D NAND技术上,并与包括韩国科学技术院(KAIST)在内的主要研究机构合作。铪基薄膜铁电是一种有望取代传统3D NAND堆叠技术中使用的氧化物基薄膜的材料,有望增强耐用性和稳定性。
从2D NAND到3D NAND的过渡是由前者的局限性推动的,前者在技术上无法超越10nm范围。三星电子于 2013 年率先将 3D NAND技术商业化。虽然2D NAND可以比作独立的房子,但垂直堆叠单元的3D NAND类似于公寓楼。与 2D NAND 相比,它提供更快的速度、更大的容量和更低的功耗。
然而,3D NAND技术面临着巨大的挑战,特别是在制造过程中。创建薄膜堆栈需要精确地沉积多个薄层,因为任何缺陷或厚度变化都会显着影响设备性能。随着层数的增加,蚀刻技术的挑战也在不断升级,在整个层中保持均匀的孔径被证明是极其困难的。
铪基薄膜铁电是应对这些挑战的解决方案,与氧化物基材料相比,可提供更薄、更坚固的薄膜。这使得实现更薄的薄膜成为可能,超过10nm的尺度,并促进了更容易的蚀刻工艺。此外,该材料对数据记录的电压要求较低,并减少了漏电,从而增强了芯片性能。
三星电子的一位官员表示:「我们的目标是在几年内开发1000层NAND,将我们的研发工作集中在将基于NAND的固态硬盘SSD)的容量提升到PB级。」

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