佳能将在3月发售新型光刻机,中国企业能买吗?

原创: 闪德资讯 2021-01-05
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一颗存储芯片的诞生,需要经过上千道高精度的制造工艺,方能“百炼成钢”,而光刻机是制造芯片最重要的设备。因为美国的制裁,中国企业无法购买ASML的先机光刻机,此前,中芯国际因迟迟没有收到EUV光刻机,在芯片生产上比台积电等慢了很多,日前,中芯国际已经与ASML展开了谈判。

中国企业尽管受到了美国禁令的限制,但是仍可以购买非美国技术的光刻机,比如佳能的。据日经中文网消息,日本佳能将于2021年3月发售新型光刻机FPA-3030i5a,该设备使用波长为365纳米的i线光源,支持直径从2英寸到8英寸的小型基板。据佳能介绍,这个光刻机与以往机型相比,生产效率提高约17%。

光刻机作为制造芯片的核心装备,它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。在光刻机市场上,荷兰的ASML,日本的尼康与佳能三大企业占据了全球光刻机市场约9成的市场份额。

建造一个晶圆厂需要花费几十亿的金钱,还不一定能成功,有很多可能出现烂尾,而买光刻机就是一个头疼的事情。尽管建厂难,但是这个市场前景广阔。据国外媒体报道,2020年疫情带来了居家办公和娱乐设备需求增加,同时,5G智能手机增长迅速,全球芯片代工市场在2020年增长很快,预计规模达到了846.52亿美元,同比增长率高达23.7%。很多专家预测,2021年,经济将会有一定程度的复苏,对5G智能手机、物联网设备、服务器、笔记本电脑、电视、消费电子产品和汽车等需求增加,芯片代工的前景仍是值得期待的。

在芯片产业,有三种模式,一是IDM,还有Fabless和Foundry。近日,IC Insights发布报告,预测2020年无晶圆厂的IC销售额,即Fabless模式有望达到全球总销售额的32.9%,创历史新高。这些企业都需要芯片制造厂,这也是国内芯片制造厂的机遇,不断出现的厂也需要更多的光刻机。

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(图源上海微电子)

目前,光刻机市场被国外企业垄断,国内能自主生产光刻机的企业就是上海微电子了,它的产品主要采用ArF、KrF和i-line光源,目前制程在90nm。据上海微电子发布的新闻稿,他们将在2021-2022年交付第一台28nm工艺的国产浸入式光刻机,国产光刻机有望从此前的90nm工艺一举突破到28nm工艺。光刻机这个难题注定将伴随着我们芯片产业很长一段时间,采购国外的产品也是一个长期困扰企业的难题。

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