台积电表示，ASML的高数值孔径极紫外光机台（High-NA EUV）太过昂贵，2026年前使用没有太大的经济效益，但总裁魏哲家近日密访ASML总部，让外界不禁猜测，台积电是否改变心意。

魏哲家缺席23日登场的台积电2024年技术论坛台湾场，26日造访了ASML荷兰总部，以及工业雷射公司创浦的德国总部。

分析师认为，台积电似乎加入了追逐下一世代EUV设备之战，即High-NA EUV机台，理由是魏哲家访问ASML与雷射供应商创浦，而非参与举行的技术论坛。

业界推断，魏哲家的到访，显示台积电想买High-NA EUV，此种设备对2nm以下制程极为关键。ASML去年底已出货首台High-NA EUV给英特尔。

台积电管理层似乎决定拜访ASML，确保全球半导体的主导地位。

台积电原本打算2026年下半量产1.6nm制程后，再导入High-NA EUV。High-NA EUV设备报价高达3.8亿美元，较EUV高出逾一倍。

竞争对手英特尔和三星电子，都已有所行动。

英特尔想依靠High-NA EUV，达到难以超越的领先优势。

最先出货的几台High-NA EUV，都送往英特尔的晶圆代工部门。

英特尔想先在1.8nm试用此种设备，之后正式导入1.4nm制程。

三星集团会长李在镕则4月亲访ASML关键伙伴蔡司的德国总部，拜会ASML与蔡司，以强化三方的半导体联盟。

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