长江存储杨士宁:摩尔定律时代已结束,三维集成是未来

2021-11-03
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在2021年中国集成电路制造年会暨供应链创新发展大会上,长江存储CEO杨士宁表示,摩尔定律已经结束了,未来三维集成会是最重要赛道。他表示多年前就看好这是重要趋势,不会因为没有最先进的EUV光刻机就做不下去。

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杨士宁博士认为,当前行业中面临着带宽、功耗、成本三大瓶颈。过去几十年大家都在谈三维集成,但是一方面行业发展三维集成的动力不足,另一方面三维集成的技术仍不成熟。当前局势则有所改观,在杨士宁看来,随着制程演进,三维异构集成正在成为新的决定性赛道。其中晶圆和晶圆键合的异构三维集成、光刻工序不随层数线性增加的同构三维集成将会有着光明的发展前景。

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