据报道，在研发5nm制程工艺一年后，三星开始建设5nm EUV生产线。三星希望在2030年之前击败台积电，成为半导体行业的领军人物。

三星已从半导体设备制造商那里订购了必要的设备，以便在位于华城园区的V1工厂建立一条5nm产线。通常完成所有设备的安装需2到3个月，预计三星将在6月底左右完成5nm产线。

鉴于芯片生产线建成后，需包括测试、评估以及良率提升等过程，业内人士预计，到今年年底或明年初，三星才能够大规模生产5nm芯片。而此前据业内人士透露，台积电将于4月开始量产5nm芯片。在5nm芯片生产方面，三星将最起码落后台积电半年时间。目前，三星与其他公司已达成协议，其中高通骁龙x60 5G基带将使用三星5nm工艺制造。