半导体设备行业专题研究:半导体设备国产化现状分析【三】

2022-09-09
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3. 设备厂商现状:优秀国产厂商涌现,国产替代有望加快

国内在半导体设备各细分领域涌现出一批代表性公司

由于半导体设备种类繁多,制造原理各异,在各细分领域中已形成具备一定规模和国内替代技术实力的国产细分龙头厂商,但与海外厂商相比技术实力与收入体量相差仍大。国内厂商中,北方华创、中微公司、 盛美上海等厂商已横向实现平台化布局,值得重点关 注。

北方华创为国内规模最大、产品覆盖最广的半导体设备公司,在氧化扩散/热处理、PVD设备具备较强的产品竞争力,硅刻蚀和金属刻蚀、清洗机亦导入长江存储。

中微公司为国内半导体设备技术领先龙头,在集成电路制造使用的刻蚀设备以及LED外延片生长使用的 MOCVD设备领域技术领先。

盛美上海在清洗设备方面通过自研技术解决了兆声波清洗的缺点,与国际龙头差异化竞争,争夺高端市场,同时横向拓展电镀、立式炉,以及先进封装所用的 刻蚀、涂胶显影、抛光、去胶等设备。

拓荆科技、华海清科、芯源微、屹唐股份、至纯科技 、精测电子、中科飞测、烁科中科信、华峰测控、长川科技等公司在国内细分领域领先。

华力集成/华虹无锡:中标供应商中,盛美上海、北方华创等位列国产供应商前列

华力集成:2016~2022年间盛美上海在华力集成共中标17次、21 台设备,北方华创同期在华力集成共中标11次、22台设备,屹唐 股份同期在华力集成共中标10次、12台设备,上海天隽机电设备 有限公司同期在华力集成共中标9次、42台设备(均为研磨液供 应设备),广立微同期在华力集成共中标8次、14台设备(均为 EDA软件或晶圆电性测试仪),中微公司同期在华力集成共中标 7次、15台设备。

华虹无锡:2018~2022年间盛美上海在华虹无锡共中标22次、23 台设备,北方华创同期在华虹无锡共中标18次、25台设备,中微 公司同期在华虹无锡共中标11次、14台设备,华海清科同期在华 虹无锡共中标11次、13台设备,屹唐股份同期在华虹无锡共中标 11次、25台设备,拓荆科技同期在华虹无锡共中标7次、7台设备。

氧化扩散/热处理设备:国产化率28%,北方华创优势较为明显

华力集成:东京电子、应用材料等企业领先,北方华创、 屹唐股份、盛美上海亦获得采购。其中北方华创共计中标4台,中标产品涵盖退火、合金、 氧化炉设备;屹唐股份(Mattson)中标2台,为快速热退 火/快速热氧化设备;盛美上海中标1台,为低压高温氧化 炉设备。

华虹无锡:东京电子获采购最多,国产厂商包括北方华 创、屹唐股份、上海微电子等。其中,北方华创中标11台设备,包括合金退火炉、真空 烘烤炉等;屹唐股份中标4台,为快速热退火设备;上 海微电子中标4台,为背面激光退火设备。

清洗设备:国产化率38%,盛美上海中标设备数量国产最多,仅次于日本迪恩士

长江存储:盛美上海中标设备数仅次于日本厂商迪恩士, 国产中标厂商还包括芯矽科技、北方华创、屹唐股份。其中盛美上海共中标35台,中标产品主要包括各类型单片式清洗机;芯矽科技共计中标5台,中标产品为零部件 清洗机;北方华创共中标2台制程挡控片蚀刻回收清洗机;屹唐股份亦于2021年中标2台清洗设备。

华力集成:盛美上海中标仅次于日本迪恩士,北方华创、 芯源微亦获得采购。其中盛美上海共计中标19台,中标产品涵盖前段、后段 工艺的清洗设备。北方华创中标13台,均为部件清洗设备;芯源微中标3台,为刷片清洗设备。

4. 总结:坚定看好设备国产替代趋势

国产化率计算:长江存储、华力集成、华虹无锡设备国产化率

国产化率计算:长江存储、华力集成、华虹无锡设备国产化率(按照设备台数占比,下同)分别为17.9%、12.9%、18%。从各类型设备来看,去胶、清洗、氧化扩散/热处理、刻蚀、化学机械抛光领域国产化率均可达到20%以上,而薄膜沉积、 过程控制、离子注入、光刻、涂胶显影设备国产化率尚低。

华虹无锡与华力集成同属于华虹集团,而华虹无锡各类型设备国产化率基本均高于华力集成(个别如氧化扩散/热处理、离 子注入除外,但相差不大),这可能是由于华虹无锡主要制程在90nm~55nm,属于成熟制程,华力集成主要为28~14nm, 相对于华虹无锡而言属于较先进制程,成熟制程在设备国产化率方面相对更高。

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