据闪德资讯获悉,9月20日,长鑫存储在世界制造业大会上宣布,第五代DRAM技术平台(G5平台)正式实现量产,并同步展示基于该平台打造的大容量LPDDR5X新品。该平台代表长鑫存储在高端DRAM技术路线上的重要突破。
据介绍,G5平台在关键工艺领域实现多项创新。通过四重曝光技术,将内存阵列有源区半间距微缩至11.95nm,并采用新材料及新工艺,使存储电容深宽比达到45:1。同时,长鑫存储引入适配DRAM工艺的高介电常数金属栅(HKMG)技术,进一步提升制程能力。
在研发过程中,长鑫存储还搭建数字孪生系统,覆盖设计、开发、制造及维护等环节,通过虚拟研发环境加速工艺优化,并在界面工程、鞍形鳍式结构、低k间隔层位线等关键技术上取得进展。
产品方面,G5平台推动存储密度和效率提升。相比第四代平台,每片晶圆裸片产出数量提升至少50%。基于该平台打造的两款LPDDR5X产品已进入规模量产阶段,单颗容量均达到24Gb,较上一代同类产品提升50%,采用496Ball和245Ball两种封装规格,可应用于中高端智能手机及便携式消费电子产品。
长鑫存储表示,未来将持续推进DRAM技术迭代,推出更高性能、更高可靠性的存储产品,为全球数字产业提供更多存储解决方案。
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