据闪德资讯获悉,三星电子提高了搭载于HBM4的10nm级第六代(1c)DRAM的良率,为年内量产开了绿灯。
据评估,大胆的重新设计决策和工艺优化工作促成了良率的提升。
三星电子近期将HBM4的1c DRAM晶圆良品率提升至冷测试40%左右,热测试50-60%左右。
10nm级DRAM制程技术的发展顺序为“1x(第1代)、1y(第2代)、1z(第3代)、1a(第4代)、1b(第5代)。到了第6代1c制程,线宽进一步变窄,制程难度也呈指数级增长。
考虑到一年前1c DRAM的冷测试良率接近0%,最近的良率结果令人鼓舞。
据称,移动端1c DRAM的良率比HBM4高出约10%。
三星电子通过改变设计,调整电路密度和热设计,改善了电流和散热特性。最终能够同时确保工艺一致性和产品稳定性。
在实际设计变更之前,尽管在热测试中保证了一定的良率,但在冷测试中几乎所有产品都被判定为缺陷产品。
三星电子还开展了工艺优化工作,例如精确补充HBM4封装对准工艺,并改善测试过程中的热量分布均匀性。
这是因为微对准误差和热量集中是导致HBM多层结构缺陷率上升的主要原因。
三星电子目标是在年内将1c DRAM的冷测试良率提高到60%,热测试良率提高到70-80%,实现HBM4的实际量产。
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